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潔凈室氣密測試的作用用途是什么

潔凈室氣密測試的作用用途是什么

日期:2025-04-25 19:53
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摘要:
    潔凈室氣密測試主要是檢驗潔凈室的墻壁、地板、頂棚、管線以及其他防護屏障是否足夠嚴密, 避免空氣從潔凈室泄漏出去或室外污染空氣滲入室內(nèi)。

    1、保持室內(nèi)為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。

    2、可按以下方法進行檢測:

    1)壓力衰減法:使室內(nèi)達到某一壓力(正壓或負壓),關(guān)閉加壓或抽負壓系統(tǒng),觀察壓力隨時間衰減到起始壓力的一半所用的時間,即為測量室內(nèi)正壓或負壓的半衰期。

    2)恒壓法:使室內(nèi)達到某一正壓,同時向室內(nèi)補氣,使室壓達到要求的穩(wěn)定值而不下降時的補氣即為泄量。使室內(nèi)達到一負壓,使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。

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