潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微。
對于屬于不同潔凈級別的車間，級別高的車間和相鄰級別低的車間要承載啟動設(shè)備所產(chǎn)生的短時壓差，要保持正的靜壓差，所以必須按照嚴格的技術(shù)方法謹慎操作。
潔凈室地面需使用雙層不銹鋼罩排水地漏，并經(jīng)常沖洗。所以潔凈車間裝修施工時不僅要認真找準標高、排水坡度，以防管道阻塞， 而且還要確保地漏自身的表面精度達標，地漏與地面結(jié)合部位要光 潔、嚴密，使之與密封和潔凈的要求相符。 潔凈室的地面要求耐磨、平整，方便清洗除灰，不易產(chǎn)生靜電， 以保證面層牢固地和基層粘結(jié)，不僅舒適，且不空不裂。
在潔凈車間裝修過程中，要加強骨架的整體性，妥善解決吊頂因承受設(shè)備啟動時 的壓力變化和靜壓差所產(chǎn)生的密封及開裂、變形問題，實現(xiàn)預(yù)期的氣 密狀態(tài)風(fēng)口、燈具、功能接頭、消防箱、配電柜、觀察窗等所有孔洞的周圍，都要遵照要求做法對不同材料相互交接的地方采取防裂和密封手段，使?jié)崈羰艺w的氣密性得到保證；門窗的氣密性應(yīng)良好；潔凈車間的頂棚、墻壁、施工縫隙及樓地面的構(gòu)造都要穩(wěn)妥的加以密封； 通常要將聚苯乙烯泡沫板嵌填到位于車間潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的伸縮縫中；室內(nèi)采用彩色壓型鋼板，并用膨脹螺釘鎖??；室外采用不銹鋼蓋板，并在其邊緣全部以密封膠密封。
為證明潔凈室工作得令人滿意，必須證明其滿足了下述準則的要求：
1.潔凈室的送風(fēng)量充足，足以稀釋或消除室內(nèi)產(chǎn)生的污染。
2.潔凈室內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動，受污染空氣的流動達到zui低程度，空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動方向正確。
3.潔凈室的送風(fēng)不會顯著增加室內(nèi)的污染。
4.室內(nèi)空氣的運動狀態(tài)可保證密室內(nèi)沒有高濃度聚集區(qū)域。??
如果潔凈室達到了上述這些準則的要求，就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時)，以確定其達到了規(guī)定的潔凈室標準。
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量：如果是紊流潔凈室，那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室，則要測量其風(fēng)速。??
2.各區(qū)之間的氣流控制：為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確，也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動，必須檢測：
(1)各區(qū)間的壓差正確；
(2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確，即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動。
3.過濾器檢漏：對高效過濾器及其外框要進行檢驗，以保證懸浮污染物不會穿過：
(1)損壞了的過濾器；
(2)過濾器與其外框間的縫隙；
(3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。
潔凈室氣密在常年的負壓工況及異常正壓工況下會逐漸遭到破壞，容易造成圍護結(jié)構(gòu)接縫松散，密封膠脫落，導(dǎo)致泄漏。另外實驗室需要經(jīng)常進行消 毒處理，一些密封材料會逐漸腐蝕老化。因此，建議加強對潔凈室氣密測試的定期維護保養(yǎng)及年檢測試。
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